電子集成電路廠潔凈室的污染源

現(xiàn)今不少電子高新科技領(lǐng)域?qū)呻娐返男枨?/span>量十分大，同時對大規(guī)模集成電路的設(shè)計生產(chǎn)、封裝環(huán)節(jié)要求越來越高。這也意味著對電子潔凈室的要求越來越高。那么，在日常工作中，容易對電子集成電路廠潔凈室造成污染的源頭有哪些呢？

一、電子集成電路廠潔凈室的污染源--電磁噪聲
電子集成電路潔凈室是通過大電流氧化爐等設(shè)備的電纜和反復(fù)控制通斷的電磁開關(guān)，高頻振蕩等產(chǎn)生電磁噪聲的，電磁噪聲會影響電子束掃描設(shè)備的掃描精度，其影響程度與發(fā)生源的距離成反比。

二、電子集成電路廠潔凈室的污染源--振動
潔凈室設(shè)備內(nèi)的真空泵電機工作時會把振動經(jīng)地板傳遞到微細加工設(shè)備和顯微鏡等精密設(shè)備儀器上，進而影響它們的工作精度。潔凈室應(yīng)在振源和怕受振動的設(shè)備下安裝空氣彈簧減震器，以達到衰減振動的目的。

三、電子集成電路廠潔凈室的污染源--生銹
當潔凈室酸用通風(fēng)罩局部排風(fēng)量不足時，酸霧氣擴散于潔凈室內(nèi)，腐蝕室內(nèi)設(shè)備的金屬部分，造成污染；潔凈室不銹鋼裸露在含lu氣的空氣中，也會受腐蝕生銹。處理酸的有效的方法是采用密閉通風(fēng)罩，保證足夠的局部排風(fēng)量。

電子集成電路廠潔凈室的污染源除了上述幾點，還包括潔凈室器材和設(shè)備的搬出和大修施工時造成的污染。這些污染不只是由于人的移動造成的，設(shè)備移動也會揚起已落在地板表面和器材上的塵埃。尤其是更換設(shè)備時養(yǎng)護地板，搬進小工具或很多搬運工進出潔凈室，都會導(dǎo)致室內(nèi)的懸浮塵埃量比平時多。

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